内热式真空热处理炉与外热式真空热处理炉相比，结构和控制系统比较复杂，制造和安装精度比较高，调试难度大，造价较贵。但是内热式真空热处理炉惯性小，热效率较高，可以实现快速加热和快速冷却，使用温度高，目前已有2200～2500℃的内热式真空炉研制成功并用于生产，同时内热式真空炉可以大型化，便于连续作业，自动化程度高，生产效率高。近十几年来，内热式真空炉迅速发展，已经成为当前真空热处理炉的主流炉型。 kaixin100.cn
内热式真空炉的优点主要有以下七点：
1.可以制造大型高温炉，而不受炉罐限制；
2.加热和冷却速度快，生产效率高；
3.因不采用耐热炉罐，温度范围广，最高加热温度可达到2200℃或更高；
4.易于实现全过程的自动化，工作中无污染，环境好，操作安全；
5.炉子热惯性小，加热和冷却工序循环短，热效率高，生产效率也高；
6.炉温均匀性好，可达±5℃，工件加热均匀，变形微小，产品质量好；
7.加热期间不需要保护气氛，除非为防止金属挥发或在低温区提高加热速度和炉温均匀性通入的气体外，一般充入气体多采用N₂，Ar或Ne气等。
内热式真空炉的缺点有以下三点：
1.炉内结构复杂，炉子造价高，电气绝缘性要求高；
2.与外热式真空炉相比，炉内容积大，各种构件表面吸附大量气体，需配大功率抽气系统；
3.考虑真空放电和电气绝缘性，要低电压大电流供电，需配套系统。
