真空烧结炉是指在真空环境中对被加热物品进行保护性烧结的炉子,其加热方式比较多,如电阻加热、感应加热、微波加热等。关于它的操作很多用户都有一些疑问,那么,真空烧结炉是怎么操作的呢? 内容来自kaixin100
真空烧结炉1通电前,检查各开关放在(关)位,升温方式“手动”,功率调节逆时针旋到头(低端)。
2控制电源开:根据工艺要求顺序来启动机械泵、扩散泵。
3炉内真空度测量:根据真空计的操作进行,当达到要求的真空度时,才能加热升温。
4电炉抽真空:紧闭所有的真空阀门,启动机械泵,待其运转正常后,打开通向炉体的低真空阀,预先对炉体抽气,此阀打开时应缓慢,以免机械泵排气口处有油喷出。
5炉体抽真空同时,打开另一低真空阀,对扩散泵抽气,当真空度达到15Pa后,先开启扩散泵上的冷却水,然后对扩散泵加热,一般经过45分钟左右扩散泵起作用,就可关上通向炉体的真空阀,打开大真空阀,真空度很快可以达到1.33×10-1Pa以上,即可对电炉通电加热。
6新炉第一次加热因放气较多,真空度容易下跌,另外工件加热放气也使真空下跌,所以要慢慢升温真空度下跌到1.5帕停止加热,等真空度回升到0.5帕以上再慢慢加热。因扩散泵低于20帕就无法工作,另外扩散泵油在太低真空下易氧化,扩散泵就无法作用。也可在低真空下加热除气,等放气基本结束,再开高真空。另外电炉在不用时抽真空状态下保存,下次抽气快些。欲停止抽真空,应先关闭高真空阀,然后停止加热,1个半小时后,关闭低真空阀,停止机械泵运转,只有在扩散泵完全冷却之后,才切断其冷却水供应。
真空烧结炉7手动升温:在炉温200℃以下先用手动方式升温,否则控温不准。在真空状态下按动加热启动按钮,缓慢调节手动功率调节(顺时针方向),使电流慢慢上升,禁止超过次级额定电流1100A,电炉温度随之上升。1000-2000℃,可采用红外自动控制炉温。
8降温可按预先设定的程序控制降温,也可直接把加热关闭让其自行降温。但降温过程中不允许停水,否则炉体密封圈会烧坏。
9电炉外表应经常保持整洁,不用时应保持真空,否则下次使用会导致抽真空效率降低。真空炉及真空系统使用半年左右应对轴向密封部位加注真空密封脂,轴向密封指观察窗挡板座、气动真空蝶阀等部位,自动进出热电偶系统在使用半年后应旋开热电偶座加注扩散泵油。
10真空炉的观察窗玻璃(特别是红外仪用的观察窗)在使用一炉后应卸下清洁。